クリーンルームの清浄度とクラス分け
クリーンルームを設計する事で大事なことがある。
クリーンルームの空気のきれいさ、清浄度の値でクリーンルームクラスが決まってくる。
ではこの清浄度とは空気のきれいさをどう表現されるのか？
空気の清浄度を示す尺度としては、単位体積に含まれる粒子の数で表現するのが一般的。
この値によってクリーンルームのクラス分けがおこなわれる。
米国連邦規格では、1立方フィートの空気中に含まれる0.5μｍ以上の大きさの粒子の数をもってクリーンルームクラスに対応
産業別清浄度分類表がある
・半導体工業
・工学機器
・時計・精密機器
・電子機器
・医薬品
によって更に用途別に清浄度が分類されておりその清浄度分類表を見れば一目でクリーンルームクラスが分かる。
設計の段階でこの清浄度を確認することで設備的にエアシャワーをつけたり、用品のマットや台車、清掃方法まで変わってくる
設計での清浄度がどれだけ大事かがクリーンルームの設計の場合とても難しい。
また清浄度は換気回数に左右されます。
クリーンルームの場合一般的な換気（外気を取り入れる事）とは少し意味が違います。
クリーンルームでは「ＵＬＰＡフィルタ」や「ＨＥＰＡフィルタ」と呼ばれるフィルターを使って室内にクリーンな空気を送り込む事を換気と言います。
クリーンルーム用の空気清浄のＦＦＵ（ファンフィルタユニット）と呼ばれる機械を使用して換気を行う事で、クリーン環境を実現しています。
換気能力の設計が内部の発塵量その他によって必要です。
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関連カテゴリー： 設計とクリーンルームのクラス , 清浄度とクラス分け , クラス１０００のクリーンルーム
