クリーンルームの差圧と清浄度
クリーンルームはクリーンな空間を保つ為に外部との遮断がされています。
つまり機密性が高いのです。
更にクリーンルームの清浄度を保つ為に常に換気をしているのです。
すると気密性の高いクリーンルームと外部との差圧が出てきます。
ですから清浄度と同じくらいこのクリーンルームの差圧の事を考える必要があります。
まず、クリーンルームの清浄度を維持するためには、適切なフィルタにより清浄空気が供給されること。
適切な送風量が確保されること。
適切な差圧（隣室により気圧を高くする）を維持することなどが必要です。
差圧が管理できていなければ、フィルタや送風量が適切に維持管理されていても、清浄度を長期間安定して維持することは困難です。
通常、クリーンルームは、部屋を「完全な気密」にすることはできません。
これはクリーンルームの天井・床と壁の接合部やドア隙間、配管・配線の貫通部などにわずかな隙間が生ずるからです。
また、クリーンルームの壁貫通部を完全に気密にすることも困難です。
汚染空気がこのわずかな隙間を通して周囲空間からクリーンルーム内に流入するのを防止するためには、クリーンルームの差圧を常に周囲よりも高く維持することが必要になります。
クリーンルーム清浄度を長期間安定して維持するためには、以上のような理由から差圧を常に一定に維持する差圧制御が必要となります。
クリーンルームの壁面に取り付けた自力式の差圧調整ダンパによる差圧制御の方法があります。
現在市販されている差圧調整ダンパでは、残念ですが、数パスカルの小さな差圧は設定できません。
また、ダンパ通過風量が変化すると差圧を一定に維持できない構造のものが多くあります。
このため、5Paや3Paなどの微小差圧を設定した部屋に、市販差圧調整ダンパを取り付けても、長期間にわたって安定した制御ができないのが実状です。
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